投早投小 双向奔赴

在山东省济南市艾恩半导体科技有限公司，一台离子注入机在刚刚启用不久的洁净厂房内整机组装集成。接下来，它将经历长达数月的验证环节，这也是每一台离子注入机必须面对的严苛挑战。

在芯片制造过程中，离子注入是非常重要的环节。《国家集成电路产业发展推进纲要》明确提出，研发光刻机、刻蚀机、离子注入机等关键设备。作为多年从事这项研究的工程师、艾恩半导体总经理钟新华带着用最短时间突破关键技术瓶颈的愿景，带领有近20年研发、产业化经验的技术团队，于2023年2月在广州注册成立一家半导体科技公司。

高风险、高不确定性、缺乏抵押物及营业收入，刚刚起步的科技型创业公司很难获得贷款支持。而数以万计的零部件采购耗资不菲，资金成为这家公司遇到的第一大难题，直到遇到了鲁信创业投资集团股份有限公司（以下简称“鲁信创投”）的投资团队。

当钟新华在介绍团队的技术如何先进、离子注入机能为半导体产业带来的助力时，鲁信创投总经理葛效宏主动打断了他，开始跟他讨论离子注入机的未来市场前景以及市场营销等。

钟新华说：“此前见到的投资人，关注的都是多久能回购，公司多长时间能上市，只有他们跟我聊产品。”

记者在采访中发现，对半导体行业的未来前景，鲁信创投投资团队如数家珍。鲁信创投旗舰基金管理部副总经理徐霄龙说：“公司做过深入细致的行业调研，现在行业急需什么我们都很清楚。”

在投资界，像艾恩半导体这样的早期创业企业被称为“PPT公司”，没有成熟的产品，只有想法和前景。在鲁信创投看来，这类处于极早期阶段的企业，最考验投资机构的专业水平。徐霄龙说：“我们必须要比别人早看一步，提前看到它的未来价值。”

鲁信创投深知第三代半导体产业的重要意义。近年来，鲁信创投先后涉足芯片设计、衬底生产、晶圆制造、模块封装等第三代半导体全产业链，深知离子注入机是当前产业发展必不可少、亟待补齐的关键短板之一。

一个月后，由鲁信创投联合济南财投基金集团、山东省新动能基金公司等组建的济南鲁信新动能天使创业投资合伙企业（有限合伙），出资参与艾恩半导体天使轮融资。当年9月，第二笔天使资金到位。

投资是一个长期的过程。葛效宏说：“我们投早、投小、投长期、投硬科技，还要做好投后管理。”鲁信创投对艾恩半导体进行天使投资以后，便不仅仅是一名财务投资人。鲁信创投花费大量时间与艾恩半导体一起，完善公司组织架构、搭建人才体系、规范企业制度、确定员工激励平台和分配方案等。

就在记者采访的当天，鲁信创投的工作人员还在艾恩半导体新厂区进行投后调研，确保厂区规划布局与流程管理更加完善。葛效宏说：“我们深度参与被投资人的企业管理，与被投资人是亲密合作关系。我们要把创业者变成优秀的企业家。”

在“真金白银”的有力加持以及鲁信创投全方位的孵化赋能下，钟新华的技术团队专注于离子注入机的研发与产业化，技术成果加速迭代，设备性能大幅攀升，新品上市喜讯频传……

2024年年中，艾恩半导体研发、扩产资金紧张，鲁信创投旗下基金再次追投资金，并协助其在这一轮融资中对接更多大型投资机构、政府投融资平台，成功与毅达资本、源禾资本、济南财投基金集团、济南高新区、山东产业技术研究院等达成股权合作。“这也为公司将总部迁至山东按下了启动键。”钟新华表示。

《山东省第三代半导体产业发展“十四五”规划》提出，要引入高温离子注入系统等关键工艺设备。鲁信创投为艾恩半导体积极导入产业链上下游等各类资源，为其介绍山东第三代半导体产业规划、惠企政策，并基于对宏观经济、行业发展的深入研究与敏锐把握，帮助企业谋划重点研发方向和未来发展战略。

钟新华的团队感受到了山东省对第三代半导体产业的重视和支持力度。他说：“离子注入机所需的近2万个零部件，过半可以在山东配套，同时本地也存在广泛的下游潜在客户资源，所以我们把公司迁到了济南。”

目前，艾恩半导体自主研发制造的第一代碳化硅离子注入机已走向市场，正接受芯片制造厂商的验证。

如今，基于落地山东的种种利好，钟新华对公司未来发展又有了新的规划：三年内实现离子注入机所有机型全覆盖，性能达到国际领先水平。“这不仅是山东发展第三代半导体产业的需要，也是支撑我国电子元器件制造工艺装备发展的必经之路。”